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王工的专业性评价,大多数人没有听懂,但并不妨碍大家把目光投向陈泉,等待解释。
“是的。
这个陀螺仪,我不准备只采用牺牲层工艺。”
陈泉没有丝毫慌乱。
记忆里,陀螺仪采用的加工工艺,的确发生了变化。
之所以,陈泉要抛出新论文,也跟加速度传感器论文,被《AppliedPhysicsLetters,应用物理快报》采用有些关系。
应用物理快报,在半导体工艺系列里,算是与MEMS有关联的期刊里,最好的一波期刊了。
其SCI影响因子超过了4。
(真正的MEMS专业期刊,还没有面世。
)
按理,论文被确定采纳,是件大好事,但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。
因为不论是他还是她,都没有任何感觉。
前两次的过关,陈泉和曲燕秋,都能明显看到,或者感到一些不同。
例如第一次过关,曲燕秋被实质激活,第二次,干脆苏醒。
可现在,没有消息,就是最坏的消息。
所以两个人,不得不继续拔高心理目标,把论文的层次,再推高一个档次。
这次的目标,盯叮住了CNS(CELL,SCIENCE,NATURE),这三本顶级超一流期刊,一次就给他搞到位。
这种超一流期刊论文,在80年代末,不用多,只要有一篇,在国内,就可以开宗立派,直接成立专属实验室,乃至新的专业。
这个陀螺仪,以及它后面的工艺论文,就是陈泉和曲燕秋两个人,精心选出来的目标。
.....
“不是牺牲层工艺?还有别的工艺吗?我怎么没有听说?”
王工眯起眼睛,重新打量起眼前的,年轻得不像话的青年。
“嗯,姑且算是我的发明吧。
这次想申请的专利,就有它一个。”
国际专利申请的初期,花钱不算太多,交800到一千美元的报名费,就可以有12到18个月的独占期。
没有这个时间差,MEMS项目组,支付不起加速度传感器的专利申请。
“这个工艺叫什么名字?”
“嗯,叫.....”
陈泉挠了挠头。
所有的记忆,都是图像记忆,名字什么的,从来都是没有。
“我还没有给它起名呢。
要不就叫深硅刻蚀工艺吧。”
陈泉按照直觉印象,随口起了个名字。
名字说出口后,感觉还不错。
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