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自知犯了大错的成兴,试图分辨。
1989年的冰城,学生生活费,50元一个月能吃饱,100元,绝对能吃好。
“哦,天啊!
我真是受够了。”
张栋的耐心彻底没了。
“这是谁出的馊主意!
让这些连课都没上过的新生,做半导体实验?”
“老张,有点耐心。”
在旁边工作台做实验的科研人员,边操作,边劝解。
“你不能期望所有人都跟陈泉一样,一看就会,一听就懂的。”
“老师,让我们两个人一组吧。
这次我们小心点。”
云丽上前一步。
有了台阶下,张栋的态度好了一点。
“行,你跟成兴一组,于耀赢跟李季一组。
剩下的冯言,自己一组。”
被训得满脸通红的成兴,感激的看了一眼,身边不起眼的同班女生。
在MEMS小组内,人虽然不多,但隐隐分成了几派。
于耀赢,李季,都是陈泉和曲燕秋的嫡系,而冯言,干脆是陈泉二人的干姐姐,前些天发表的中文综述,还捞到了署名,心态都比较好。
而云丽和成兴,被拉入小组,完全不知道背后的原因,比较忐忑,做事情也有些畏首畏尾。
由于相似的处境,两个人最近有点抱团取暖的意思。
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会议室。
看到样品,感兴趣的客人,纷纷离开座位,围了过去。
“这不对吧。”
王工上上下下,里里外外的把样品看个通透。
“什么不对?”
冰飞的周总工,就在他的身边。
“这种结构,以现在的MEMS工艺,根本加工不出来吧。”
王工把模型举了起来,抬高到跟视线平齐。
“我记得,MEMS所采用的牺牲层工艺,根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。”
牺牲层技术(工艺),1985年才被引入到半导体加工领域,“表面”
微机械加工概念由此产生。
之所以,1988年,震惊世界的微静电马达能够问世,就是拜牺牲层技术所赐。
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