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光刻机内部的透镜组,一般是由十余块凸透镜和凹透镜叠加组成,这款康尼nSR-1o1og光刻机的透镜组高度大概在一米左右。
其中凸透镜负责控制焦距和成像距离,而凹透镜负责控制透镜色散以及像差,以保证最终图像能够准确地投射在晶圆之上。
“我们先通过画图和测算,得到现有透镜组的数值孔径,接着再将每一块透镜设置为变量,通过位移和拆卸,来测算每一块透镜对于整体的影响和差别,最后整合实验结果,通过改变透镜组内部结构,来提升光刻机本身整体的分辨率。”
王向中面色严峻地说道。
“我也没有设置什么非常困难的目标,只要尽量让孔径数值尽量增大就可以了。”
听完这番话,台下的工程师和研究生们都陷入了沉默当中。
显然,王向中的计划是可行的。
不过这个任务的难度太大了,首先是物理层面,现在的透镜组是由康尼的研发工程师设计调校好的,尽管水木大学的研究生们拥有丰富的理论知识,但这真正地上手操作还是头一遭,能不能真的把这件事情给干好还是一个未知数。
而晶华内部的工程部主要涉猎的还是晶圆制造部分,无论是PE工程师(ProcessEngineer,工艺工程师)还是IE工程师,对于光刻机本身构造的了解和改造能力都是极为有限的,他们主要负责的部分还是生产线其它流程的优化和改良,只对提供测试数据这件事情上有所帮助.
见到众人都陷入了沉默中,王向中继续说道:“参考康尼nSR-2oo5i9c,同为步进式光刻机,想要让工艺节点下降到o.5微米以下,数值孔径就必须达到o.5左右,的确是挑战不小。”
“可是……”
台下一个研究生犹豫了半天,最终还是举手说道:“要是失败了怎么办……”
“失败?”
王向中轻轻一笑,“胜败乃兵家常事,失败也是很正常的,又不要你们出钱,你们只要尽量把事情给办好就行。
在接下来的日子,我会尽量指导你们开展研究工作……”
指导?
听到这狂妄的用词,台下的研究生们再一次炸开了锅。
“王师弟不会在开玩笑吧?”
一个身着白色衬衫的青年颇有玩味地把玩着手中的钢笔,似笑非笑地盯着王向中,“你,来指导我们?我没有听错吧?”
“你有什么建议吗?”
王向中见状,也只是脸色淡然地回应道。
“据我所知,王师弟现在不过还在读大一吧?”
青年笑着回应道,“虽然我知道你在软件方面颇有造诣,但是改良光刻机可不是上实验室写代码,写几个for函数就能解决问题。”
“哦?”
王向中眉头一挑,“那你倒是说说你的看法?”
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