丝瓜小说网

手机浏览器扫描二维码访问

第93章力排众议上（第2页）

“所以我们接下来的主要任务，就是配合晶华，提升现有的光刻精度，努力在一年内，将晶华现有光刻机的工艺节点，尽量提升到o.5微米以内，如果能提升到极限是自然是最好的。”

此话一出，台下一片哗然。

“什么？”

“这小子怕是疯了吧？”

不少人皆是面色古怪地看向台上的王向中，毕竟这种言论还是太吓人了，这里可是晶华晶圆厂啊，在工程部门工作的人，大多都是懂行的，提升光刻机的分辨率这种说法几乎可以等同于胡说八道。

台下来自水木大学的研究生们此时更是纷纷炸开了锅，他们倒是听自己的导师提到过此次任务的艰巨性，但没想到王向中一开始就跳出来给他们安排了一个几乎不可能的任务。

“王师弟，我有一个问题。”

台下的黄晓明突然举手道，“这可不是光凭你一句话就能决定的事情，提升光刻机工艺是一件很复杂的事情。”

尽管他已经在白马和金圆圆口中听到了关于王向中的诸多传说，但他相信眼见为实，耳听为虚，因此也趁机提出了自己的质疑。

“问的不错，”

王向中笑道。

台下诸位的反应并没有出乎他的意料，现在自己遭到众人的质疑也是相当正常。

“根据瑞利衍射定理，光刻机的分辨率受影像对比度、光源波长和数值孔径影响。

早在你们来之前，我就已经参观过了晶华的净室，5英寸生产线所使用的光刻机型号是康尼nSR-1o1og，属于一台i线光刻机。”

“i线光波长在为365nm，所以理论上它最高可以支持o.35微米分辨率。”

这个年代的光刻机没有双工作台，浸润式光刻技术也还没有被发明出来，因而王向中也只能保持这个年代公认的说法。

“光源波长已经定死了，所以我们剩下能做的，就是提高基础工艺水平，以及提高数值孔径。”

听到这些话，台下的研究生们脸色才算是好看了一些，但如果只是这点理论的话，也完全不足以支撑整个改进工艺，于是便有人忍不住说道：“那我们怎么提高数值孔径呢？”