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第九十一章 深硅刻蚀工艺（第2页）

自知犯了大错的成兴，试图分辨。

1989年的冰城，学生生活费，50元一个月能吃饱，100元，绝对能吃好。

“哦，天啊！

我真是受够了。”

张栋的耐心彻底没了。

“这是谁出的馊主意！

让这些连课都没上过的新生，做半导体实验？”

“老张，有点耐心。”

在旁边工作台做实验的科研人员，边操作，边劝解。

“你不能期望所有人都跟陈泉一样，一看就会，一听就懂的。”

“老师，让我们两个人一组吧。

这次我们小心点。”

云丽上前一步。

有了台阶下，张栋的态度好了一点。

“行，你跟成兴一组，于耀赢跟李季一组。

剩下的冯言，自己一组。”

被训得满脸通红的成兴，感激的看了一眼，身边不起眼的同班女生。

在MEMS小组内，人虽然不多，但隐隐分成了几派。

于耀赢，李季，都是陈泉和曲燕秋的嫡系，而冯言，干脆是陈泉二人的干姐姐，前些天发表的中文综述，还捞到了署名，心态都比较好。

而云丽和成兴，被拉入小组，完全不知道背后的原因，比较忐忑，做事情也有些畏首畏尾。

由于相似的处境，两个人最近有点抱团取暖的意思。

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会议室。

看到样品，感兴趣的客人，纷纷离开座位，围了过去。

“这不对吧。”

王工上上下下，里里外外的把样品看个通透。

“什么不对？”

冰飞的周总工，就在他的身边。

“这种结构，以现在的MEMS工艺，根本加工不出来吧。”

王工把模型举了起来，抬高到跟视线平齐。

“我记得，MEMS所采用的牺牲层工艺，根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。”

牺牲层技术（工艺），1985年才被引入到半导体加工领域，“表面”

微机械加工概念由此产生。

之所以，1988年，震惊世界的微静电马达能够问世，就是拜牺牲层技术所赐。