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“现在青华那台光刻机,是要精度没速度,要速度没精度。
他们现在是需要停下来,手动调节,这你敢信?”
林天河原来哪知道这个,他之前听过双工件工件台这个名词,上市的华焯精创他还买过股票。
但是这工件台是怎么工作的,他是一无所知。
现在总算明白了,这就相当于春节卖对联,写一个字,往上面拉一下纸再写下一个。
拉的位置不准,字写错位置,整张纸就废了。
拉的太慢,一上午写不了几幅。
当然,人没有这么笨,还可以通过手臂调节,写到正确的位置上的,机器却不行。
但是青华的光刻机是手动调节?
光刻一个位置后,通过手柄移动位置?
一个位置调节要几分钟?几十分钟?还是几个小时?
老头又说道:“工件台的精度和速度要求极高,需要瞬间急加速然后瞬间急停。
后世的工件台按照瞬间的加速度算,已经超过火箭发射升空的速度,而且还需要在下一刻精准的停在位置上,不能出现任何差错,因为这种速度下任何差错都没办法弥补。
错了虽然不至于整片晶圆报废,但只能重来!”
这是人类在与物理极限做斗争呀,现在的光刻机要差很多吧?
林天河问道:“那后世的光刻机是怎么解决这个问题的?有没有借鉴意义?”
老头说道:“这方面的技术思路,最开始使用伺服电机驱动,但是精度不够。
后来改用油压驱动,又会产生巨大的噪声和震动。”
“再往后,进步到气悬浮和磁悬浮。
大致思路我知道,但是这个我完全不懂。
ASmL的磁悬浮,再搭配量测工具,那是他们的绝招,不会外传的。”
这东西,老头不懂,林天河更是不懂。
听名字,大概知道是什么东西,但是具体是怎么工作的?鬼知道!
老头接着说道:“刚才就说到测量工具,这东西你肯定懂,但是重要性你却不懂!
测量的精度,你更是一无所知!
早在1930年代,davidmann就制作出了微米轮,可以测量11000毫米。”
“1959年,GcA公司收购了davidmann创办的这家机械测量仪器公司,成立了事业部。
1961年,davidmann公司发布了现代意义上的第一台光刻机,型号971。
从这里你就可以看到测量精度的重要性!”
测量工具的重要性,林天河能够理解,但是要精密度要多高,老头没说。
比如你生产一台光刻机,你怎么知道能达到什么光刻精度?
安装时,地面的平整度,物镜与掩膜板的距离,掩膜板与工作台的距离,工件运送硅片的位置,全都需要测量。
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